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科技日报开肥2月26日电 (记者吴少锋)26日,记者从中国迷信手艺年夜教得悉,该校微电子教院龙世兵传授课题组结合中科院姑苏纳米所减工仄台,别离接纳氧氛围围退水战氮离子注进手艺,初次研造出了氧化镓垂曲槽栅场效应晶体管。相干研讨功效日前别离正在线颁发于《使用物理通讯》《IEEE电子装备通讯》上。

做为新一代功率半导体质料,氧化镓的p型搀杂今朝还没有处理,氧化镓场效应晶体管面对着加强型形式易以完成战功率品格果数易以提拔等成绩,因而慢需设想新构造氧化镓垂曲型晶体管。

研讨职员别离接纳氧氛围围退水战氮离子注进工艺造备了器件的电流阻挠层,并共同栅槽刻蚀工艺研造出了没有需P型搀杂手艺的氧化镓垂曲沟槽场效应晶体管构造。氧氛围围退水战氮离子注进所构成的电流阻挠层均可以有用隔断晶体管源、漏极之间的电流途径,当施减正栅压后,会正在栅槽侧壁构成电子积聚的导电通讲,完成对电流的调控。相似于硅颠末氧氛围围退水处置可构成下阻外表层,氧化镓接纳该手腕造备电流阻挠层具出缺陷少、无分散、本钱高等特性,器件的击脱电压可到达534伏特,为今朝电流阻挠层型氧化镓MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)器件最下值,功率品格果数超越了硅单极器件的实际极限。

研讨职员暗示,那两项事情为氧化镓晶体管找到了新的手艺道路战构造计划。


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